Fraunhofer und Applied Materials schnüren wichtigen Knoten für Halbleiter-Metrologie im „Silicon Saxony“ Dresden, 17. Juli 2023. Um die Forschung und Entwicklung neuer Mikroelektronik in Europa voranzubringen, haben das Fraunhofer-Photonikinstitut IPMS und der Chipwerk-Ausrüster „Applied Materials“ (AM) in Dresden ein „Europäisches Technologiezentrum für Halbleiter-Messtechnik“ eröffnet. Es handele sich dabei um „eines der größten Technologiezentren für Halbleitermetrologie und Prozessanalyse in Europa“, schätzen die IPMS-Forscher ein. Beschleuniger für Chipentwicklung „Unser gemeinsamer Metrologie-Hub wird die Lernzyklen und die Entwicklung neuer Anwendungen für das Fraunhofer Institut, Applied Materials und unsere Kunden und Partner in Europa beschleunigen“, schätzte AM-Vizepräsident James Robson ein. „Dieses einzigartige Kompetenzzentrum wird in der Lage sein, Prozesse auf einer Vielzahl von Substratmaterialien und Waferdicken zu testen und zu qualifizieren, die für Anwendungen in der vielfältigen europäischen Halbleiterlandschaft entscheidend sind.“ Auch Dr. Benjamin Uhlig-Lilienthal vom IPMS-Zentrum für Nanoelektroniktechnologie (CNT) verspricht sich einen Entwicklungssprung vom neuen Zentrum: Dadurch bekomme Fraunhofer und dessen Kunden einen einfachen Zugang zu modernen Elektronenstrahl-Messsystemen von Applied Materials. Dazu gehört unter anderem ein spezielles Rasterelektronenmikroskop für sehr kleine Chipstrukturen. Ehemalige Digitalpapier-Fabrik mit moderner Messtechnik ausgerüstet …
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